真空泵維修對零件更換的要求

真空泵維修過程中，零部件的精度及其質量對泵浦維修后的性能尤為重要，對此維修人員一定要對機械結構及其原理不是了解，同時注意其零件之間的精度及配合公差，因為不同的質量的配件及其型號規格精度都對泵浦組裝后的性能產生重大的影響。

主要特性和優勢

雙活塞設計 | 便于維修，部件更少，各個型號之間的部件可相互替換，大間隙設計優化了在要求嚴苛的應用中的性能

外部平衡 | 極低的振動級別，便于維修

三軸承設計 | 堅固耐用的重型設計，活塞和滑片使用壽命更長，與市面同類型產品相比維修間隔平均時長增加高達 50%，密封件壽命更長

密封閥蓋 | 使用壽命更長，低噪音，易于維護，部件之間可相互替換，適用于嚴峻環境的哈氏合金彈簧以及復位彈簧設計

O 形圈密封件 | 易于維修，維修間隔更長，泄漏風險降低

集成式組裝性能 | 減少泄漏通路，便于安裝配件

低轉速 | 轉速小于 500 RPM，比市面同類型產品慢達 50%，損耗更少，旋轉損耗泵的壽命更長，處理微粒應用的能力更強

全泵速可達 1 Torr | 減少循環時間

較低的極限真空 | 極限值小于 0.01 Torr

高達 600 Torr | 持續高壓泵送，具有適用于多種應用的靈活性，操作簡單

泵系列

Stokes 212J

Stokes 412J

Stokes 612J

真空泵維修根據多年的維修經驗來給你分析一下多級泵安裝的流程及需要小心的注意事項，希望對你的安裝能有所幫助。安裝多級泵的流程及其注意事項：

1、將多級泵運到現場，找平頂座時不必卸下水泵和電機；

2、直接安裝可煤氣發生爐將頂座放在地基上，在地腳螺釘附近墊上楔形鐵，將頂座墊下約20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥漿之用；

3、用水真空泵平儀檢查多級泵頂座的水平度，找平先用水泥漿填充頂座，待水泥漿做先再檢查一下水平度；

應用

半導體的目標應用包括：

PECVD

高 K

低 K

SACVD

LPCVD

ALD

EPI

FPD 的目標應用包括：

PECVD

TCO

刻蝕

傳輸腔

主要特性和優勢

針對先進的 EPI 和太陽能制程大幅提高了氫氣抽取速度。

大容量干泵和 增壓泵提供擴展的制程窗口以提高產量。

占地面積更小，高度更低，便于在任何工廠中安裝。

符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始終如一地使用或省略不用。

真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。

應用

鍍膜

玻璃鍍膜 機的負載鎖和大型內嵌鍍膜機

卷繞鍍膜 和粘輥

光學鍍膜、 鏡片鍍膜和顯示屏鍍膜

表面鍍膜，如等離子體沉積和 反射或裝飾鍍膜

干燥

變壓器 干燥

汽車 干燥和填充系統

制冷和空調

電池和電容器干燥

熱處理

回火

淬火

退火

真空 釬焊

電子束和等離子焊接

一般工業