氣體質量流量控制器的密封材料如何選擇？

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

什么是氣體質量流量控制器？

氣體質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。

質量流量控制器不僅具備質量流量計的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，即客戶可按照需求設定流量，MFC會自動地將流量穩定在設定值上，即使系統工作壓力有起伏或自然環境溫度有轉變，也不會使其偏移設定值。簡易地說,質量流量控制器可以看成是一個穩流設備, 是一個可以手動式設置或與電子計算機連接自動控制的氣體穩流設備。

氣體質量流量控制器工作原理

氣體進入進氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道，其中很小一部門進入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構，可以實現這兩部門氣體流量成正比例關系。傳感器經由預熱加溫，里面的溫度高于進入的氣流溫度，此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設定信號進行比較，以此為基礎控制調節閥，使得流量檢測信號與設定信號相等，這樣便實現了MFC的功能。