藍(lán)寶石因高硬度（莫氏硬度 9 級(jí)）、優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性及透光性，廣泛用于 LED 襯底、半導(dǎo)體窗口、光學(xué)鏡頭等領(lǐng)域，但其精細(xì)拋光需解決 “效率高損傷低” 難題，納米氧化鋁憑借獨(dú)特性能成為核心拋光材料之一。

納米氧化鋁UG-L80F的優(yōu)勢(shì)源于其微觀特性：其一，粒徑可準(zhǔn)確控制在 5-50nm，遠(yuǎn)小于傳統(tǒng)磨料，能減少拋光過(guò)程中藍(lán)寶石表面的劃痕與亞表面損傷；其二，高硬度（HV 1800-2200）與藍(lán)寶石匹配度高，兼具磨削效率與拋光精度；其三，表面可通過(guò)改性（如硅烷偶聯(lián)劑處理）提升分散性，避免團(tuán)聚導(dǎo)致的拋光不足問(wèn)題。

在實(shí)際應(yīng)用中，納米氧化鋁主要以三種形態(tài)作用：一是溶膠型拋光劑，通過(guò)溶膠 - 凝膠法制備的納米氧化鋁溶膠，顆粒均勻分散于水或有機(jī)溶劑中，適用于藍(lán)寶石襯底的精拋工序，可將表面粗糙度降至 0.1nm 以下，滿足 LED 外延生長(zhǎng)的超平整需求；二是復(fù)合拋光液，將納米氧化鋁與納米氧化鈰、納米金剛石微粉復(fù)配，利用協(xié)同作用平衡拋光效率與表面質(zhì)量，用于藍(lán)寶石窗口片的粗拋 - 精拋銜接工序；三是固定磨料拋光墊，將納米氧化鋁顆粒固載于聚氨酯基底，形成有序磨料結(jié)構(gòu)，減少磨料浪費(fèi)并提升拋光一致性。

此外，納米氧化鋁拋光工藝可通過(guò)調(diào)控 pH 值、拋光壓力、轉(zhuǎn)速等參數(shù)，適配不同厚度、尺寸的藍(lán)寶石工件。目前，該材料已成為藍(lán)寶石拋光領(lǐng)域的主流選擇，推動(dòng)了 LED 顯示、半導(dǎo)體制造等產(chǎn)業(yè)的精細(xì)化升級(jí)。

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