氦氣檢漏設備主要技術指標

實際使用氦氣檢漏設備時，其較小可檢出泄漏率為5×10-13Pa·m3 / s； 泄漏率顯示的范圍為1×10-3—1×10-13Pa·m3 / s。; 啟動時間保持在小于等于3min的范圍內；自動化程度：人工連接工件后，啟動設備后，各工位自動判別、自動檢測。 響應時間小于或等于1。0s; 檢漏口較大壓力：1000Pa； 電源需要220v，50Hz，單相，10A。

使用氦氣檢漏設備時，請注意其機械泵的抽速為4L / S； 工作環境要求為5-40℃；電氣系統同時具有自我效準、連鎖保護和報警功能，以及急停按鈕，確保系統本身運行可靠安全和被檢工件的安全。 應注意相對濕度必須小于或等于80％; 尺寸：600（W）×550（D）×1000（H）; 通常重量將保持在65kg。 關于氦氣檢漏設備，應注意其配備了標準氦氣檢漏裝置，包括更詳細的校準報告。

用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量(在空氣中約含5.2ppm)， 在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也

就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小(相對分子質量為4)，易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同-漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

氦檢漏設備

正壓法

正壓方法是首先用一種以上的大氣壓氦氣或氦氣的混合氣體填充壓力容器裝置。在壓力容器裝置的外部檢測中，泄漏孔泄漏到外部氦氣中，然后找到泄漏孔。當用抽吸搜索氦氣時，一旦氦氣被吸入，氦氣檢漏設備將顯示泄漏率值。在這種情況下，由于壓力容器裝置的外部是一個大氣壓，充入壓力容器裝置的氣壓需要至少一個大氣壓或更多個大氣壓。然而，壓力不應太高。氦氣檢漏氦質譜檢漏的檢測精度高，可達到1×10-7Pa·m3/s。如果壓力過高，插入設備的壓力表或其他插件會彈出，造成傷害和其他危險事故。