高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決于制氣或凈化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關行業原則，并在圖紙中注明管道材質。實驗室氣體管道安裝【實驗室氣體管路要求】1、所有氣體管路都由高質量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。

管路的材質則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管，經電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經過光輝燒結(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體，如GN2、CDA。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進行維修。另一種未經特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

實驗室氣體工程安裝注意事項

（1） 管徑為1/8的管路很細且特軟，安裝后不直，很不美觀，建議管徑為1/8的全部換成1/4，在二級減壓器末端加一變徑就可以了。

（2） 氮氣，Ar，壓縮空氣，氦氣，甲i烷，氧氣的已經減壓器壓力表量程為0—25Mpa，二級減壓器為0—1.6 Mpa。乙i炔一級減壓器量程為0—4 Mpa，二級減壓器為0—0.25 Mpa。

（3） 氮氣，Ar，壓縮空氣，氦氣，氧氣鋼瓶接頭共用氫氣鋼瓶接頭分兩種，一是正轉鋼瓶接頭，另一是反轉。大氣瓶用的是反轉，小氣瓶用的是正轉。

（4） 氣體管路每隔1.5m設一管子固定件彎曲處及閥門兩端都應設固定件。

（5） 氣體管路應沿墻明設，以便安裝維護。

氣路系統百科知識

一、氣瓶間。

1、鋼瓶間的設計宜設在中心化驗室的主入口側，并應采取遮陽防曬措施，當鋼瓶間與建筑物為一體時，隔墻應為鋼筋混凝土防爆墻。

2、通風良好，并具有足夠的泄爆面積，室內地面應有防火花，防靜電措施;

3、可燃氣體鋼瓶(H2，C2H2)與助燃氣體鋼瓶(O2)應隔開布置;

4、還應設立泄露報警系統。

二、色譜室。

1、中心化驗室的管道應統籌規劃、集中布置，以便于安裝、操作和檢修為布置原則;

2、引入中心化驗室的工藝管道總管應設切斷閥，并根據需要設置壓力表、溫度計、流量計、過濾器和減壓閥等。閥門或儀表宜設置在便于觀察和檢修的位置;

3、可燃易i爆氣體如氫氣、乙i炔、氧氣等宜明線鋪設;

4、管道宜集中布置并沿墻明設，且方便安裝及檢修;

5、使用鋼瓶氣管道的設備臺應離墻布置，留出的維修空間不宜小于600mm;

6、氫氣管道宜采用焊接連接，不應采用螺紋連接和使用閘閥。

實驗室氣體管道工程

實驗室供氣系統氣體管路

氣體管路指氣瓶至儀器終端之間連接管線，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調節閥等部分組成，輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個半自動調節閥來控制。所有氣體管路都是高質量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈，使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調節閥門、壓力表來指示氣體壓力。

實驗供氣系統易i燃易i爆氣體使用安全注意事項

1.易i燃易i爆氣體：此類氣體只要形成了可燃氣體爆i炸混合氣和達到著火溫度。便會發生燃燒爆i炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室

內使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下：

①可燃氣體比空氣輕者，報警裝置設置在所處場所的頂部。

②可燃氣體比空氣重者，報警裝置設置在所處場所的較低處。

③可燃氣體的報警裝置應與相應的事故排風裝置設電氣連鎖，當空氣中的可燃氣體濃度達到規定值時，事故排風裝置自動開啟，同時向潔凈廠房的消防安全值班室發出報警信號。

④為防止倒流回火應在用氣設備的支管上設置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時突遇雷電襲i擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發燃燒爆i炸事故，必須在排氣管道上設置阻火器。

⑤可燃氣體在適當的管道處應做接地，但接地電阻應符合相關規定。

⑥各種可燃氣體管道系統均應設置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應的檢測口，以便在可燃氣體供應系統使用前后或檢修動火前后對其系統進行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質量。