消費者應用這種氦質譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產品擁有良好的應用價值，在我國更多的產品漏率檢查之中原先更好的技術支持，因此氦質譜檢漏儀的優勢更保證了我國產品漏問題檢查的質量。檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用,這種方法的優點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數量級,儀器響應快,

氦質譜檢漏主要領域：冶金——真空電爐；低溫與壓力容器——液氮和液氦儲存罐、生物制品容器及各類壓力容器；輕工產品——保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質譜檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。隨著壓力容器出口產品的增加及各制造企業對產品質量的重視，氦質譜檢漏儀的方法在我國的壓力容器制造業中的應用也逐年遞增。

質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦氣檢漏儀特有的清氦系統，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩定性和準確性；實時監測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；